저번 글에서 잠깐 살펴 본것 처럼 가속도센서는 특정 방향

직선운동에 대한 속도의 증감비를 측정 합니다.

그럼 가속도 센서는 어떤 원리로동작 하게 되는지 궁금해지더군요

간단하게 원리만 축약해서 살펴보면 

감지 방식에 따라서는 크게

[1]변위형(displacement type)

[2]공진형(resonant type)

[1]변위형은

(변위형 가속도센서는 외부 인가 가속도에 비례하여 발생하는 변위를 검출하고,

이로부터 가속도를 측정하는 방식)

1)제어 방식에 따라

개루프(open loop) 방식

(외부 인가 가속도에 의해 발생하는 변위를 검출하여 가속도를 측정하는 방식)

폐루프(Colsed-loop) 방식

(외부 인가 가속도에 의해 발생하는 변위를 검출하여 변위 발생을 제거하는
feedback 제어를 통해 가속도를 측정하는 방식)

2)변위 검출 방식에 따라

압저항형

(외부 인가 가속도에 의해 발생하는 구조체의 변형을 측정하기 위해,

내부 응력에 따라 저항이 변하는 압저항 물질을 구조체로 사용하는 방식)

압전형

(ZnS, PZT, Cds, Quartz등과 같이 외부 인가 응력에 의해 유기되는 전하를 검출하는 방식)

터널링형

(약 10Å 정도의 간극을 사이에 둔 tip과 전극 사이에 흐르는 터널링 전류의
크기가 간극에 이 변화함에 따라 급속히 달라진다는 원리를 사용하는 방식)

용량형

(대향 전극으로 구성된 용량형 구조에서 질량체의 변위에 의한 공극의 변화가
용량의 변화로 나타나는 점을 이용한 방식으로 현재 MEMS 가속도센서의 대부분
을 차지하고 있다)

[2]공진형은

(진동계의 강성이 외부 인가 가속도에 의해 변하는 방식으로
구현한 뒤,이에 의해 달라지는 고유진동수를 측정하는 방식)

1)주파수 변화 검출 방식에 따라

 응력 변화형

(공진하는 진동체의 스프링에 관성에 의하여 인장이나 압축력이

가해짐에 따라서 고유 진동수가 바뀌는 현상을 이용한 방식)

강성 조정형

(강성조정형은 인가 가속도에 의한 전기적 강성(ke)의 변화를 이용한다.)